RSD-COL-620H千級無塵烘箱技術參數:
千級潔凈烤箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
無塵烤箱參數資料:
一.特點:
1.在普通環境下使用,能夠確保烘箱內部等級達到Class 1000/100/10
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵;
3.采用進口SUS304#2mm厚之鏡面不銹鋼板或國標鏡面不銹鋼材質,并經堿性蘇打水清潔,去油污避
免烘烤時產生 PARTICLE;
4.采平面水平由后向前送風后經美國進口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門
(特殊風道設計)方向送風,過濾效率99.99%,Class 100,排氣口:3"φ(附自動啟閉風門)
二.執行與滿足標準
1.GB/T11158-1989高溫烘烤技術條件
2.GB2423.2-1989標準B
三.用途
無塵烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門。
無塵潔凈烘箱溫度選配60~250℃(300℃)
四.產品技術參數
1.名稱及型號:RSD-COL-620H
2.主要技術指標:
2.1無塵等級:Class 1000;
2.2溫度范圍: 60~250℃(300℃);
2.3溫度均勻度:±2.5℃;
2.4溫度波動度:±0.5℃(空載)
2.5溫控精度:±0.1℃;
2.6烘箱擱板為活動形式。
2.7工作尺寸:W800×H1300×D600
2.8電源:380v , 50Hz,8.5Kw
3、千級烘箱箱體結構:
3.1烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風道系統組裝而成,結構合理,外觀美觀大方;
3.2全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產生器,防機臺本身產生微塵;
3.3箱體材料:外箱采用SUS304不銹鋼或 SS41# 中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵;
3.4內膽材料:采用進口SUS304#之鏡面不銹鋼板或國標鏡面不銹鋼材質,并經堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤產生 PARTICLE;
3.5中桶材料:采用進口SUS304#鏡面不銹鋼板或國標鏡面不銹鋼材質,并經堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密加工(防污染)。
4、溫控系統
4.1采用三菱PLC觸摸屏加日本OMRON E5A型溫度控制器,控制器LED數字顯示及設定、PID自動演算、薄膜設定,**度±0.3% FS;
4.2訊號來源:采日制進口BA感應棒±0.5%。
4.3輸出被控制組件:SSR無接點訊號輸出。
5、完善的**保護措施:漏電斷路器、控制線路保險絲裝置、超溫防止保護裝置、電熱過電流保護裝置、馬達過電流保護、機臺異常蜂鳴器警示逆向防止器、門面**開關
6、無塵烘箱選購設備:
6.1 可程式溫控器
6.2六點溫度記錄儀
6.3雙色指示燈
6.4烘烤架
RSDCOL系列智能千級烘箱(型號規格表)
容積
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型號
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控溫范圍
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控溫精度
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電源電壓
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內膽尺寸(mm)
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層數
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70L
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RSD-COL-070H
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RT-250℃
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±1℃
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220V/50Hz
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W400*D350*H500
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2層
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180L
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RSD-COL-180H
|
RT-250℃
|
±1℃
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220V/50Hz
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W600*D600*H500
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2層
|
270L
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RSD-COL-270H
|
RT-250℃
|
±1℃
|
380V/50Hz
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W600*D500*H900
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3層
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340L
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RSD-COL-340H
|
RT-250℃
|
±1℃
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380V/50Hz
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W700*D700*H700
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3層
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620L
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RSD-COL-620H
|
RT-250℃
|
±1℃
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380V/50Hz
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W800*D600*H1300
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4層
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640L
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RSD-COL-640H
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RT-250℃
|
±1℃
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380V/50Hz
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W800*D800*H1000
|
4層
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